空氣潔凈度等級
3．0．1 潔凈室及潔凈區內空氣中懸浮粒子空氣潔凈度等級應符合下列規定：
1 潔凈室及潔凈區空氣潔凈度整數等級應按表3．0．1確定。
表3．0．1 潔凈室及潔凈區空氣潔凈度整數等級
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空氣潔凈度 |
大于或等于要求粒徑的最大濃度限值(pc/m3) |
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0.1μm |
0.2μm |
0.3μm |
0.5μm |
1μm |
5μm |
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1 |
10 |
2 |
— |
— |
— |
— |
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2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
— |
— |
|
3 |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
— |
|
4 |
10 000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
— |
|
5 |
100 000 |
23 700 |
10 200 |
3520 |
832 |
29 |
|
6 |
1 000 000 |
237 000 |
102 000 |
35 200 |
8320 |
293 |
|
7 |
— |
— |
— |
352 000 |
83 200 |
2930 |
|
8 |
— |
— |
— |
3 520 000 |
832 000 |
29 300 |
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9 |
— |
— |
— |
35 200 000 |
8 320 000 |
293 000 |
注：按不同的測量方法，各等級水平的濃度數據的有效數字不應超過3位。
2 各種要求粒徑D的最大濃度限值Cn應按下式計算：
式中：Cn——大于或等于要求粒徑的最大濃度限值(pc/m3)。Cn是四舍五入至相近的整數，有效位數不超過三位數；
N——空氣潔凈度等級，數字不超過9，潔凈度等級整數之間的中間數可以按0.1為最小允許遞增量；
D——要求的粒徑（μm）；
0.1——常數，其量綱為μm。
3 當工藝要求粒徑不止一個時，相鄰兩粒徑中的大者與小者之比不得小于1.5倍。
4 空氣潔凈度等級的粒徑范圍應為0.1μm～0.5μm，超出粒徑范圍時可采用U描述符或M描述符補充說明。
3．0．2 空氣潔凈度等級所處狀態包括空態、靜態、動態，空氣潔凈度等級所處狀態應與業主協商確定。
3．0．3 空氣潔凈度的測試方法應按本規范附錄A的要求進行。
3．0．4 當潔凈室（區）內的產品生產工藝要求控制微生物、化學污染物時，應根據工藝特點對各空氣潔凈度等級規定相應的微生物、化學污染物濃度限值。
